金属／半導体界面における微細構造の解析

大阪大学　超高圧電子顕微鏡センター　　　　　　　　　　　　　
○坂田　孝夫、大満　和人、杉山　　明

　現在コンピュータの発達により社会構造がもの凄いスピードで変化している。この変化を支えているのが半導体産業で、産業界ばかりでなく大学でも多くの研究がされている。そのような分野で用いられる特に電子顕微鏡等の装置について、実際に行った研究を通して解析における問題点を中心に発表する。