平成１０年度機器・分析技術研究会
講演概要
| Since 1998.10.12 |
| １２ | 走査型電子顕微鏡用「吸湿・酸化性試料導入装置」の試作 |
| 三重大学 工学部 ○市川 貴之・龍田 雅夫・上野 素裕 | |
| 従来、超吸湿・酸化性の試料を走査型電子顕微鏡で観察するには、特別な試料導入室等を完備しなければ不可能であった。現実には、そのような装置は販売されていないので、このような試料の観察は、事実上不可能であった。我々が開発したこの装置は、小型で且つ安価であり、簡単に超吸湿・酸化性の試料を観察することができる。 また、ESCA,EPMA,SEM等TEM以外の表面分析装置に応用が可能である。 | |
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