マイクロ電子ビームを用いた表面局所構造解析装置の開発と応用

東北大学　科学計測研究所　　　　　　○後藤　忠彦、河野　省三

　市販の走査電子顕微鏡を改良し、超高真空下で約１００Åの空間分解能で、走査電子顕微鏡像、反射高速電子回折パターンはもとより、局所領域からの、オージェ電子回折パターンや２次電子スペクトルを観察・測定することができる装置を紹介します。