Last up date 1999/09/27
平成11年度機器・分析技術研究会
講演概要(ポスター)
真空チェンバー内にハロゲンランプを導入したベーキング法 東北大学 科学計測研究 技術室 分析電子顕微鏡で分析可能な極薄試料の作製には、イオンミリング装置による研磨加工が有用である。本装置を超高真空に保持するため、装置内に市販のハロゲンランプを組み込むベーキング法を考案したので報告する。
○高橋 勝男、鈴木 正、柴田 吉郎