平成１０年度機器・分析技術研究会
講演概要
| Since 1998.10.12 |
| Ｐ１３ | シリコンウェハーのｐＨ応答特性 |
| 名古屋工業大学 ○松原 孝至・阿部 良弘 | |
| ｐＨ応答を示す機構は現在も明らかになっておらず、大きく分けると相界電位説、拡散電位説がある。 当研究は後者の説に着目し、マトリックス中にmobile protonおよびimmobile protonの２つのバンドが存在するとわかりこれらはｐＨに大きく関与することがわかった。 | |
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| Ｐ１３ | シリコンウェハーのｐＨ応答特性 |
| 名古屋工業大学 ○松原 孝至・阿部 良弘 | |
| ｐＨ応答を示す機構は現在も明らかになっておらず、大きく分けると相界電位説、拡散電位説がある。 当研究は後者の説に着目し、マトリックス中にmobile protonおよびimmobile protonの２つのバンドが存在するとわかりこれらはｐＨに大きく関与することがわかった。 | |
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