平成１０年度機器・分析技術研究会
講演概要
| Since 1998.10.12 |
| Ｐ７ | 斜入射・斜出射蛍光Ｘ線分析自動測定装置の開発 |
| 東北大学 金属材料研究所 佐藤 多作 | |
| 斜入射，斜出射蛍光Ｘ線分析法では、Ｘ線全反射現象を利用して大気圧下で固体表面を非破壊的に分析する。従来の装置では、６〜１０時間手動でゴニオメーターを動かしながら、蛍光Ｘ線強度の角度依存性を測定してきた。 今回、開発した装置では、角度制御とＸ線の検出、保存をパソコンを用いて自動測定できる。よって、Ｘ線被爆の可能性が少なくなり安全に高精度な測定が可能となった。 | |
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